EJA感測器是一個大的概念╃•╃，它有多種型別╃•╃，比如壓力╃•╃，差壓等☁₪•。結構原理單晶矽諧振感測器的核心部分╃•╃，即在一單晶矽晶片上採用微電子機械加工技術（MEMS）╃•╃，分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀✘╃◕、大小*一致的H 形狀的諧振梁（H 型狀諧振器有兩個振梁）╃•╃，且處於微型真空腔中╃•╃，使其即不與充灌液接觸╃•╃，又確保振動時不受空氣阻尼的影響☁₪•。