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  • EJA感測器
    EJA感測器

    EJA感測器是一個大的概念│₪•·,它有多種型別│₪•·,比如壓力│₪•·,差壓等╃☁·。結構原理單晶矽諧振感測器的核心部分│₪•·,即在一單晶矽晶片上採用微電子機械加工技術(MEMS)│₪•·,分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀·₪▩₪│、大小完全一致的H 形狀的諧振梁(H 型狀諧振器有兩個振梁)│₪•·,且處於微型真空腔中│₪•·,使其即不與充灌液接觸│₪•·,又確保振動時不受空氣阻尼的影響╃☁·。

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