EJA感測器是一個大的概念╃•╃,它有多種型別╃•╃,比如壓力╃•╃,差壓等☁₪•。結構原理單晶矽諧振感測器的核心部分╃•╃,即在一單晶矽晶片上採用微電子機械加工技術(MEMS)╃•╃,分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀✘╃◕、大小*一致的H 形狀的諧振梁(H 型狀諧振器有兩個振梁)╃•╃,且處於微型真空腔中╃•╃,使其即不與充灌液接觸╃•╃,又確保振動時不受空氣阻尼的影響☁₪•。
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