EJA感測器是一個大的概念╃☁│，它有多種型別╃☁│，比如壓力╃☁│，差壓等│☁☁☁。結構原理單晶矽諧振感測器的核心部分╃☁│，即在一單晶矽晶片上採用微電子機械加工技術（MEMS）╃☁│，分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀☁│☁│•、大小*一致的H 形狀的諧振梁（H 型狀諧振器有兩個振梁）╃☁│，且處於微型真空腔中╃☁│，使其即不與充灌液接觸╃☁│，又確保振動時不受空氣阻尼的影響│☁☁☁。