EJA感測器是一個大的概念│₪•·，它有多種型別│₪•·，比如壓力│₪•·，差壓等╃☁·。結構原理單晶矽諧振感測器的核心部分│₪•·，即在一單晶矽晶片上採用微電子機械加工技術（MEMS）│₪•·，分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀·₪▩₪│、大小完全一致的H 形狀的諧振梁（H 型狀諧振器有兩個振梁）│₪•·，且處於微型真空腔中│₪•·，使其即不與充灌液接觸│₪•·，又確保振動時不受空氣阻尼的影響╃☁·。